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高精度光刻曝光機

高精度光刻曝光機是全球領先的掩模對準曝光機,Mask aligner,是光掩膜板和硅片對準的紫外曝光機。它支持高精度掩模運動,具有光刻機精密光學對準系統,高精度光刻曝光機是光刻應用中非接觸高精度光刻曝光機的領軍性產品.
型號:
FPMIC-Maskaligner
品牌:
輔光
價格:
¥0.00
類別:
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高精度光刻曝光機是全球領先的掩模對準曝光機,Mask aligner,是光掩膜板和硅片對準的紫外曝光機.它支持高精度掩模運動,具有光刻機精密光學對準系統,高精度光刻曝光機是光刻應用中非接觸高精度光刻曝光機的領軍性產品.
非接觸型光刻曝光機(MSMA-1200M)
高精度光刻曝光機特點
光刻曝光機可用于直徑達6英寸的晶圓片。
“用于多產品生產領域的研究和發展”。
“前沿技術”。
采用完全非接觸式掩模對準系統。
掩模對準時不會損壞掩膜和晶圓。
間隙精度顯著提高。
電腦監控采用交互式操作。
根據“輔助線”可以進行高精度定位。
掩模對準曝光機SMA-600M是用于研發和多種產品生產領域的手動紫外曝光機,采用了清晰的光學系統和完全非接觸式校準裝置。通過接觸或靠近模式,晶圓曝光可達150mm。該紫外曝光機系統對于各種電子設備,例如化合物半導體的LD,LED,和微型機械的制造過程,包括壓力傳感器等來說,是最適合曝光過程的高精度光刻曝光機。
桌面型高精度光刻曝光機(MEMA-800)
特點
經濟型,緊湊型和高級別性能的光刻機
視圖中聚焦圖像可看到兩個校準標記。
曝光用集成鏡頭。
LED照明燈
高精度光刻曝光機應用
(研發中心和大學的微機械發展)
驅動器,壓力傳感器,加速度傳感器,電力設備等。
用于倒裝芯片/ BGA/ CSP的曝光。
用于光學/高速通信組件的曝光。
高精度光刻曝光機規格
Alignment Scope
目標分離 15 ~ 75mm
總放大倍數 100X
觀察用的照明燈 紅色 LED (l=633 nm)
工作臺的X,Y軸的移動范圍 ±5 mm
調整 ±5°
Utility
主機和汞燈的電源 AC 100V 50/60Hz 15A
真空源 低于 21.3 Kpa (從大氣壓到-80 Kpa )
Exposure Unit
鏡頭 集成鏡頭
汞燈 250W 超高壓蒸汽汞燈
有效曝光區域 最大 100 mm
強度分布 ±5% 或更少
照明強度 20 mW/cm2 (405 nm)
曝光時間控制 數字定時器和旋轉電磁閥
汞燈照明單元 AC 110V

Double View Mask Aligner雙視野高精度光刻曝光機

MPEM-16M
(適用于直徑達4英寸的晶圓)
MPEM-12M
(適用于直徑達6英寸的晶圓)
MPEM-1600
(適用于直徑達8英寸的晶圓)
   
MPEM系列高精度光刻曝光機是高精度雙視野紫外曝光機,包括在頂部的對準光學系統和在底部的晶圓,因此裝頂部表面可進行接觸、軟接觸和接近圖案,在底部晶圓可校準圖案。高分辨率光學系統,在頂側和底側安裝了對稱的10X物鏡,因此可精確對準以掩模和晶圓。成對的物鏡之間的間隔距離可以調節,所以可以自由地對準不規則形的晶圓。
* 除了上述這些,還有機動型MPEM-2000/4000和全自動型MPEM-8M/12M 。
更多詳情瀏覽:http://www.ubjmfh.buzz/plasma.html
掩模對準光刻機規格

  MPEM-1600 MPEM-12M MPEM-16M
光掩模尺寸 最大 5-英寸 最大7-英寸 最大9-英寸
晶圓尺寸 最大達4英寸(非結晶型) 最大達6英寸(非結晶型) 最大達8英寸(非結晶型)
掩模固定座滑動 手動夾盤
掩膜運動 X=±3 mm, Y=±3 mm
e曝光 方法 軟接觸/硬接觸/接近曝光    
照明 250W超高壓汞蒸汽燈 500W超高壓汞蒸汽燈
不規則照明 ±5%
有效曝光區域 直徑100 mm O   直徑150 mmO  直徑200 mmO
分辨率 3mµ L/S
對準 方法 由目鏡觀察(精神領域系統) 9英寸的監控器系統
物鏡鏡頭 10X 兩對(更高/更低)
目鏡 NWF 10X (一對) -
總放大倍數 100X 200X
物鏡分離距離 15 ~ 90 mm 80 ~ 140 mm 55 ~ 184 mm
聚焦單元 手動
對準范圍 X, Y = ±4mm
? = ±22.5°
X, Y = ±4mm
? = ±5°
對準間隔 09 ~ 99µm
對準精度 少于 ±5mm
一次性用具 主機電源 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (600W)
汞燈電源 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (550W) 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W)
氮氣 0.4 ~ 0.5 Mpa 100-220V AC, 50/60Hz, 15A (1,100W)
真空壓力 少于 21.3kPa
(從大氣壓到-80kPa )
尺寸(主機) 750(寬)x
820(深)x
1,700(高)mm
940(寬)x
860(深)x
1,670(高)mm
1,200(寬)x
1,090(深)x
1,800(高)mm
凈重 約,450 kg 約,550 kg 約,700 kg
選項 NWF 15X 目鏡(一對) 
9英寸TV 監控系統(黑色和白色)

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